Elektrohydrodynamische Mikropumpe

Kostengünstige Sensoren werden durch den zunehmenden Einsatz des Mikroprozessors in der Meß-, Automatisierungs- und Überwachungstechnik benötigt. Herkömmliche Sensoren können in vielen Fällen den ständig steigenden Ansprüchen an Wirtschaftlichkeit und Genauigkeit nicht genügen. Die Weiterentwicklung der Technik erfordert kleine Sensoren mit einfachem Aufbau. Der Einsatz der Halbleitertechnologie und neuer Materialien ermöglicht die Herstellung von mikroelektronischen und mikromechanischen Sensoren, die diesen Anforderungen gerecht werden. Einen neuen Trend gibt in jüngster Zeit die Mikrosystemtechnik an. Hier werden Elemente mit unterschiedlichen physikalischen Funktionen, z.B. Sensor- und Aktorelemente, auf sehr engem Raum zu einer Einheit auf einem Substrat vereint. Diese Technik wird zu intelligenten Einheiten führen, die z.B. Messungs-, Regelungs- oder Kommunikationsaufgaben erfüllen können, die mit Elementarsensoren nicht zu erreichen sind. Der vorliegende Beitrag stellt Entwicklu ngen des Fraunhofer-Instituts für Festkörpertechnologie (IFT) aus dem Bereich der Sensorik vor, die, kombiniert mit Aktoren und einer integrierten Auswerteelektronik, zu mikromechanischen Systemen führen.