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  4. Einschlußtechniken zur Qualitätssicherung in der Reinraumtechnik. Tl.1. Lokale Reinräume, Minienvironments, SMIF, CIP/SIP, Enclosures - Begriffliche Gemeinsamkeiten und Auswirkungen auf die Qualität der Produkte
 
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1993
Journal Article
Title

Einschlußtechniken zur Qualitätssicherung in der Reinraumtechnik. Tl.1. Lokale Reinräume, Minienvironments, SMIF, CIP/SIP, Enclosures - Begriffliche Gemeinsamkeiten und Auswirkungen auf die Qualität der Produkte

Abstract
Begriffliche Darstellung der Einschlußtechniken. Anhand der Mikroelektronik und am Beispiel der Steriltechniken wird aufgezeigt, daß Einschlußtechniken zur Fehlerfreundlichkeit beitragen können.
Author(s)
Weißsieker, H.
Warnecke, H.-J.
Ludwig, J.
Journal
Reinraumtechnik  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • Kontamination

  • Qualitätssicherung

  • Reinraumtechnik

  • Steriltechnik

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