Fraunhofer-Gesellschaft

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Einschlußtechniken zur Qualitätssicherung in der Reinraumtechnik. Tl.1. Lokale Reinräume, Minienvironments, SMIF, CIP/SIP, Enclosures - Begriffliche Gemeinsamkeiten und Auswirkungen auf die Qualität der Produkte

 
: Weißsieker, H.; Warnecke, H.-J.; Ludwig, J.

Reinraumtechnik 7 (1993), No.4, pp.24-30
ISSN: 0931-9190
German
Journal Article
Fraunhofer IPA ()
Kontamination; Qualitätssicherung; Reinraumtechnik; Steriltechnik

Abstract
Begriffliche Darstellung der Einschlußtechniken. Anhand der Mikroelektronik und am Beispiel der Steriltechniken wird aufgezeigt, daß Einschlußtechniken zur Fehlerfreundlichkeit beitragen können.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-11519.html