Einrichtung zum Ueberpruefen integrierter Schaltungen

Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zum Ueberpruefen von Schaltungspunkten 11 integrierter Schaltungen 3 mit Hilfe eines Pruefkopfes. Um eine apparativ einfache und kostenguenstig herzustellende Pruefeinrichtung zu ermoeglichen, wird gemaess der Erfindung vorgeschlagen, den Pruefkopf selbst als integrierte Schaltung (Chip 2) auszubilden, die zumindest an den zu ueberpruefenden Schaltungspunkten 11 deckungsgleich mit dem Pruefobjekt (Chip 1) ist. Hiermit wird auch ermoeglicht, eine integrierte Schaltung 3 an mehreren Schaltungspunkten gleichzeitig zu ueberpruefen, wobei die Geometrie der Pruefpunkte zueinander sehr genau fixiert ist.