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Fraunhofer-Gesellschaft
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Patent
Title

Einrichtung zum Ueberpruefen integrierter Schaltungen

Other Title
Device for the testing of integrated circuits
Abstract
Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zum Ueberpruefen von Schaltungspunkten 11 integrierter Schaltungen 3 mit Hilfe eines Pruefkopfes. Um eine apparativ einfache und kostenguenstig herzustellende Pruefeinrichtung zu ermoeglichen, wird gemaess der Erfindung vorgeschlagen, den Pruefkopf selbst als integrierte Schaltung (Chip 2) auszubilden, die zumindest an den zu ueberpruefenden Schaltungspunkten 11 deckungsgleich mit dem Pruefobjekt (Chip 1) ist. Hiermit wird auch ermoeglicht, eine integrierte Schaltung 3 an mehreren Schaltungspunkten gleichzeitig zu ueberpruefen, wobei die Geometrie der Pruefpunkte zueinander sehr genau fixiert ist.
Inventor(s)
Faul, R.
Link to Espacenet
http://worldwide.espacenet.com/publicationDetails/biblio?DB=worldwide.espacenet.com&locale=en_EP&FT=D&CC=DE&NR=3705714A
Patent Number
1987-3705714
Publication Date
1989
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM  
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