Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Einfluß von Schmierstoffen auf die Partikelemission von Anlagen. Optimierung von Anlagen

 
: Kaun, R.; Magunna, J.

Tribologie und Schmierungstechnik 39 (1992), No.5, pp.249-257
ISSN: 0724-3472
ISSN: 0036-6218
German
Journal Article
Fraunhofer IPA ()
Fertigungsanlage; Partikelemission; Reinraum; Schmierstoff; Teilchen

Abstract
Der Einfluß von Schmierstoffen auf die Reinheit von Fertigungsanlagen zur Produktion staubempfindlicher Produkte in Reinräumen, z.B. Mikrochips in der Halbleiterindustrie, ist bisher noch weitgehend unbekannt. Aus diesem Grund wurden am IPA, Stuttgart, in Zusammenarbeit mit der Fa. Losimol, Hannover, Untersuchungen an mehreren Schmierstoffen durchgeführt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-11001.html