Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Einfache Meßverfahren auf Oberflächen (Versuch 3)

Simple inspection methods for surfaces
 
: Werner, D.

Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart:
Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 1999 : 5. und 6. Mai 1999, Stuttgart
Stuttgart, 1999
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Workshop) <1999, Stuttgart>
Meßtechnisches Praktikum <1999, Stuttgart>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Absaugverfahren; contamination control; Kontaminationskontrolle; Reine Produktion; Tapelift-Verfahren; vacuum cleaning; microscopy; Mikroskopie

Abstract
Technische Anleitung für Verfahren zur Beurteilung der Verunreinigung technischer Oberflächen mit Partikeln und filmischen Stoffen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-10839.html