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Eigenschaften und Anwendungen harter amorpher Kohlenstoffschichten
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1985
Journal Article
Title
Eigenschaften und Anwendungen harter amorpher Kohlenstoffschichten
Author(s)
Brandt, G.
Dischler, B.
Koidl, P.
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Journal
FhG-Berichte
Language
German
Fraunhofer-Institut für Angewandte Festkörperphysik IAF
Keyword(s)
amorphe Kohlenstoffschicht
Anwendung
Eigenschaft
harte Kohlenstoffschicht