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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Dreidimensionale Strukturierung des Siliziums zum Herstellen von Sensoren
 
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1983
Journal Article
Title

Dreidimensionale Strukturierung des Siliziums zum Herstellen von Sensoren

Author(s)
Csepregi, L.
Seidl, H.
Journal
Elektronik, Produktion und Prüftechnik : EPP  
Language
German
IFT  
Keyword(s)
  • Anisotropie

  • Ätztechnik

  • sensor

  • Silizium

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