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Dreidimensionale Strukturierung des Siliziums zum Herstellen von Sensoren
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1983
Journal Article
Title
Dreidimensionale Strukturierung des Siliziums zum Herstellen von Sensoren
Author(s)
Csepregi, L.
Seidl, H.
Journal
Elektronik, Produktion und Prüftechnik : EPP
Language
German
IFT
Keyword(s)
Anisotropie
Ätztechnik
sensor
Silizium