Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Dreidimensionale Strukturierung des Siliziums zum Herstellen von Sensoren
| Elektronik, Produktion und Prüftechnik : EPP (1983), Maerz, pp.110-112 : Abb.,Tab.,Lit.
ISSN: 0172-6250
ISSN: 0943-0962 |
|
| German |
| Journal Article |
| Fraunhofer IFT; 2000 dem IZM eingegliedert |
| Anisotropie; Ätztechnik; sensor; Silizium |