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Title
Verfahren und Vorrichtung zur oxidativen Behandlung von Oberflaechen
Date Issued
2003
Author(s)
Matthee, T.
Fryda, M.
Zwicker, G.
Patent No
2002-10219688
Abstract
Zur oxidativen Behandlung von Oberflaechen mittels einer Oxidationsmittel enthaltenden Elektrolytfluessigkeit, insbesondere zum oxidativen Entfernen von Photoresist-Lacken von Oberflaechen von Wafern 2 wird die Elektrolytfluessigkeit im Kreislauf umgepumpt und werden die Oxidationsmittel elektrochemisch mittels wenigstens einer mit einer dotierten Diamantschicht beschichteten Elektrode in situ in einer elektrochemischen Einrichtung (4) hergestellt.
DE 10219688 A UPAB: 20040115 NOVELTY - Process for the oxidative treatment of surfaces using an electrolyte fluid (10) containing an oxidant comprises pumping the electrolyte in a cycle. The oxidant is produced in-situ using an electrode coated with a doped diamond layer. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a device for the oxidative treatment of surfaces using an electrolyte fluid containing an oxidant comprising a treatment unit (1), circulating pumps (3, 5), and an electrochemical unit (4) with an electrode coated with a doped diamond layer. USE - Used in the microelectronics industry. ADVANTAGE - The electrolyte fluid is easy to use.
Language
de
Patenprio
DE 2002-10219688 A: 20020502