Fraunhofer-Gesellschaft

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Plasmaaktive Bedampfung - ein Hochrateverfahren zur Erzeugung funktioneller Oberflächen mit excellenter Schichtqualität

Plasma-activated vaporisation - a high-rate process forming functional surfaces with excellent coating quality
 
: Metzner, C.; Schultheiß, E.

Galvanotechnik 100 (2009), No.3, pp.670-675
ISSN: 0016-4232
German
Journal Article
Fraunhofer FEP ()
Zerstäuben; Sputtern; Aufdampfen; PVD-Beschichten; Elektronenstrahlbedampfung; Plasmaaktivierung

Abstract
Durch plasmaaktivierte Hochrate-Elektronenstrahl-Bedampfung lassen sich effizient und großflächig funktionelle Schichten für eine große Zahl von Anwendungen abscheiden. An Hand von Beispielen wird gezeigt, dass es möglich ist, transparente und farbige Kratzschutzschichten mit weiteren vorteilhaften Eigenschaften der Oberflächen, wie z.B. Easy-to-clean und Korrosionsschutz zu kombinieren. Die Anwendung solcher Schichten empfiehlt sich vor allem für ebene Flächen aus Glas, Metall oder Kunststoff. Anwendungsfelder sind hauptsächlich im Sanitärbereich (z.B. selbstreinigende Fliesen), in der Automobilindustrie (z.B. Pkw- Interieur, Verglasung) und im Architekturbereich (z.B. Verkleidungen im Innenbereich für Foyers und Fahrstühle oder im Außenbereich für Fassaden, Dächer und bei Verglasungen) zu sehen. Einen Überblick über weitere Anwendungsmöglichkeiten vermittelt hierzu eine Tabelle. Höhere Anforderungen an die Beschichtungstechniken werden für die Beschichtung von dreidimensionalen Bauteilen und Gebrauchsgegenständen erforderlich. Die Basisverfahren für viele praktische Anwendungen liegen bereits am Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP) vor.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-96289.html