Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Layer-by-layer interference lithography of three-dimensional microstructures in SU-8

 
: Lasagni, A.F.; Yuan, D.J.; Das, S.

:

Advanced engineering materials 11 (2009), No.5, pp.408-411
ISSN: 1438-1656
ISSN: 1615-7508
English
Journal Article
Fraunhofer IWS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-96162.html