Fraunhofer-Gesellschaft

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Kapazitiver Feuchtesensor auf flexiblem Substrat

 
: Bauersfeld, M.-L.; Oprea, A.; Barsan, N.; Rademacher, S.; Matheis, C.; Weimar, U.; Wöllenstein, J.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-; VDI/VDE Innovation+Technik, Berlin:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2007 : 15.-17. Oktober, Dresden, Proceedings
Berlin: VDE-Verlag, 2007
ISBN: 3-8007-3061-8
ISBN: 978-3-8007-3061-2
pp.577-580
MikroSystemTechnik Kongress <2007, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPM ()
Sensorik; Feuchtesensor; RFID; Polymer; flexibles Substrat

Abstract
Für die Integration auf flexiblen RFID-Tags wurden neuartige kapazitive Feuchtesensoren entwickelt. Dazu wurden verschiedene feuchtesensitive Polymere auf flexiblen PEN- und PI-Substraten abgeschieden und charakterisiert. Mit diesen Sensoren konnte eine gute Sensitivität und Selektivität, Linearität im Feuchtemessbereich von 0% bis 100% relative Feuchte sowie akzeptable Ansprechzeiten erzielt werden. Erste funktionsfähige RFIDLabels mit integrierter Feuchte- und Temperatursensorik wurden realisiert.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-94103.html