Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Hochreflektierende EUV/Röntgen-Mehrschichtspiegel

 
: Yulin, S.; Feigl, T.; Benoit, N.; Perske, M.; Taracheva, E.; Schröder, S.; Nesterenko, V.; Kaiser, N.

Photonik (2008), No.2, pp.48-50
ISSN: 1432-9778
German
Journal Article
Fraunhofer IOF ()

Abstract
EUV-Systeme benötigen reflektierende Optiken mit extrem guten Reflexionseigenschaften. Die Entwicklung entsprechender Schichten fordert grundlegendes Verständnis der beteiligten Prozesse und die Weiterentwicklung bestehender Beschichtungsverfahren. Einige Ergebnisse dieser Forschung werden in diesem Beitrag vorgestellt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-93735.html