Options
2008
Journal Article
Titel
Hochreflektierende EUV/Röntgen-Mehrschichtspiegel
Abstract
EUV-Systeme benötigen reflektierende Optiken mit extrem guten Reflexionseigenschaften. Die Entwicklung entsprechender Schichten fordert grundlegendes Verständnis der beteiligten Prozesse und die Weiterentwicklung bestehender Beschichtungsverfahren. Einige Ergebnisse dieser Forschung werden in diesem Beitrag vorgestellt.