Mikrosystem und Verfahren zum Herstellen eines Mikrosystems

(B3) Die Erfindung betrifft ein Mikrosystem mit mindestens einem Mikrospiegel (1) und mindestens einem Mikrospiegelaktuator (2) zum Schwenken des mindestens einen Mikrospiegels (1) um mindestens eine Achse aus einer entspannten Ruhelage heraus, umfassend einen Rahmenchip und eine auf dem Rahmenchip angeordnete transparente Abdeckung (3), wobei der Rahmenchip einen Chiprahmen (10) aufweist, an dem der mindestens eine Mikrospiegel (1) elastisch schwenkbar angelenkt ist, wobei der mindestens eine Mikrospiegel (1) ferner innerhalb des Chiprahmens (10) und in einer zwischen der transparenten Abdeckung (3) und einer Traegerschicht gebildeten Kavitaet (11) angeordnet ist. Dabei ist der mindestens eine Mikrospiegel (1) um die mindestens eine Achse schwenkbar an einem Rahmen (14) angelenkt, der seinerseits schwenkbar an dem Chiprahmen (10) angelenkt ist, wobei der Rahmen (14) dauerhaft aus einer durch die Traegerschicht definierten Chipebene herausgeschwenkt ist, so dass der Mikrospiegel (1) in seiner Ruhelage um einen nichtverschwindenden Winkel gegenueber der Chipebene gekippt ist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen eines derartigen Mikrosystems.

DE 102007034888 B3 UPAB: 20090212 NOVELTY - The microsystem has a micromirror actuator for pivoting a micromirror (1) around an axis from a resting position. A transparent cover (3) is arranged on a frame chip having a chip frame (10) at which the mirror is resiliently pivotable. The micromirror is arranged in a cavity (11) formed between the cover and a carrier chip (13). The mirror is arranged at a frame (14) around the axis. The frame is arranged in the chip frame. The frame swings-out into a chip plane defined by the chip such that the micromirror in the resting position is tilted around a discrete angle opposite to the plane. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a method for manufacturing a microsystem. USE - Microsystem e.g. micro-opto-electromechanical system, for use in a microscanner and projector. ADVANTAGE - The frame swings-out into a chip plane defined by the chip such that the micromirror in the resting position is tilted around a discrete angle opposite to the plane, thus diffracting radiation reflected at the cover, and hence avoiding interference effect caused by the reflection at the cover in simple manner. The microsystem is manufactured in cost-effective manner.