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Title
Gehaeuste aktive Mikrostrukturen mit Direktkontaktierung zu einem Substrat
Date Issued
2008
Author(s)
Reinert, W.
Patent No
102007022564
Abstract
(A1) Die vorliegende Erfindung betrifft ein mikrostrukturiertes Bauteil mit Mikrosensoren oder anderen aktiven Mikrobauelementen, umfassend ein Substrat (1), z.B. einen Wafer oder ein ASIC, das mit elektrischen Leiterbahnen, vorzugsweise mit einer oder mehreren Halbleiterschaltungen versehen ist, sowie auf dem Substrat angeordnet mindestens ein Gehaeuse (2, 3, 4) mit einer oder mehreren darin befindlichen aktiven Mikrostrukturen (5), insbesondere Sensoren, wobei mindestens eine, vorzugsweise jede der aktive(n) Strukturen durch das sie umgebende Gehaeuse (4, 5, 6) hindurch elektrisch (7, 8) an eine elektrische Leiterbahn des Substrats und vorzugsweise an eine Halbleiterschaltung ankontaktiert ist. Das Gehaeuse ist vorzugsweise aus einem Bodenelement und einem Deckelelement gebildet, zwischen denen sich die aktive(n) Struktur(en) befindet/befinden, die ueber einen Versiegelungsrahmen (3; 30, 40) miteinander verbunden sind, der den Abstand zwischen den Oberflaechen von Boden- und Deckelelement bestimmt.
Language
de
Patenprio
DE 102007022564 A1: 20070514