Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Fabrication of silicon aperture probes for scanning near-field optical microscopy by focused Ion beam nano machining

 
: Lehrer, C.; Frey, L.; Petersen, S.; Sulzbach, T.; Ohlsson, O.; Dziomba, T.; Danzebrink, H.U.; Ryssel, H.

:

Microelectronic engineering 57/58 (2001), pp.721-728
ISSN: 0167-9317
English
Journal Article
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-8967.html