Mikromechanisches Bauelement mit erhöhter Steifigkeit
Date Issued
2007
Author(s)
Klose, T.
Drabe, C.
Patent No
102007015718
Abstract
(A1) Ein mikromechanisches Bauelement umfasst eine auslenkbare mikromechanische Funktionsstruktur und eine nichtstarre, vorgespannte Aufhaengung, die die mikromechanische Funktionsstruktur in dem mikromechanischen Bauelement positioniert.