Fraunhofer-Gesellschaft

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Verfahren zur Erzeugung einer mikro-mechanischen Struktur aus zweidimensionalen Elementen und mikromechanisches Bauelement

 
: Sandner, T.

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DE 102007015722 A1: 20070402
DE 102008012826 A: 20080306
B81C0001
B81B0003
B81B0007
G02B0026
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
(A1) Bei einem Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur wird zunaechst eine auslenkbar gelagerte zweidimensionale Struktur in einem Substrat gebildet und dann in einem Gehaeuse derart angeordnet, dass ein integrierter Mikromanipulator zwischen dem Gehaeuse und der zweidimensionalen Struktur angeordnet wird, um eine Auslenkung der zweidimensionalen Struktur aus einer Ebene des Substrats zu bewirken.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-86171.html