Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Verfahren zur Erzeugung einer mikromechanischen Struktur

 
: Jung, D.; Drabe, C.; Sandner, T.; Schenk, H.; Klose, T.; Wolter, A.

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Frontpage ()

DE 102007015720 A1: 20070402
DE 102008013116 A: 20080307
B81C0001
B81B0007
B81B0005
G02B0026
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPMS ()

Abstract
(A1) Bei einem Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur wird zunaechst eine zweidimensionale Struktur in einem Substrat ausgebildet. Die zweidimensionale Struktur wird aus der Substratebene durch Krafteinwirkung ausgelenkt und in dem ausgelenkten Zustand fixiert.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-86169.html