Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Sn DPP source-collector modules. Status of alpha resources, beta developments, and the scalability to HVM

 
: Corthout, M.; Apetz, R.; Brudermann, J.; Damen, M.; Derra, G.; Franken, O.; Jonkers, J.; Klein, J.; Küpper, F.; Mader, A.; Neff, W.

:

Schellenberg, F.M. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
Emerging lithographic technologies XII : 26 - 28 February 2008, San Jose, California, USA
Bellingham, WA: SPIE, 2008 (SPIE Proceedings 6921)
ISBN: 978-0-8194-7106-2
ISBN: 0-8194-7106-2
Paper 69210V
Conference "Emerging Lithographic Technologies" <12, 2008, San Jose/Calif.>
English
Conference Paper
Fraunhofer ILT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-85687.html