Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

EUV light sources

 
: Juschkin, L.; Derra, G.; Bergmann, K.

Hippler, R.:
Low temperature plasmas. Fundamentals, technologies and techniques. Vol.2
Weinheim: Wiley-VCH, 2008
ISBN: 3-527-40673-5
ISBN: 978-3-527-40673-9
pp.619-654
English
Book Article
Fraunhofer ILT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-84201.html