Fraunhofer-Gesellschaft

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Material Design - Neueste FuE-Untersuchungen hinsichtlich minimaler Ausgasung und Partikelkontamination

 
: Gommel, Udo

Berliner Glas KGaA Herbert Kubatz GmbH & Co., Berlin:
Technologietag "EUV Lithographie" 2008. CD-ROM : 30.04.2008, Berlin
Berlin, 2008
29 Folien
Technologietag "EUV Lithographie" <2008, Berlin>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPA ()
Partikelkontamination; Ausgasung; Reinraumtauglichkeit; particle; cleanroom suitability; contamination; Teilchen; Kontamination; Werkstoffforschung

Abstract
Der Großteil der Kontaminationen einer reinen Produktionsumgebung (Partikel, Ausgasung, ESD) geht von den eingesetzten Produktionsanlagen und damit hauptsächlich von den verwendeten Werkstoffen aus. Werkstoffe mit deren Kontaminationspotenzial vor einem Einsatz in reinen Produktionsanlagen objektiv bewerten und vergleichen zu können, ist für die Industrie demnach ein äußerst wichtiges, bisher allerdings kaum erforschtes Anliegen. Dieser Vortrag fasst den Stand der Forschung auf dem Gebiet der Reinheitstauglichen Werkstoffe zusammen und zeichnet neue, sensitive Bewertungsverfahren auf.

 

Most of the contamination found in clean manufacturing environments (particles, outgassing, ESD) originates from the production equipment utilized and thus mainly from the materials used to make them. For industry, the ability to objectively assess and compare the contamination potential of materials for use in clean environments is therefore an essential issue but one which has hardly been researched up till now. This talk summarizes the current research situation in the field of cleanliness-suitable materials and highlights new, sensitive assessment techniques.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-84152.html