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Si-C-N-Pulver aus Hexamethyldisilazan durch Pyrolyse im Heißwandreaktor in Gegenwart von Ammoniak

 
: Neumann, A.

Freiberg, 2001, 82 pp. : Ill.
Freiberg, TU Bergakademie, Diss., 2001
German
Dissertation
Fraunhofer IKTS ()
Siliciumcarbonitridpulver; Hexamethylsilazan; Pyrolyse; Heißwandreaktor; Massenspektrometrie; Drallplatte

Abstract
Die Herstellung von Siliciumcarbonitridpulver durch Pyrolyse von Hexamethyldisilazan in einem Heißwandreaktor mit und ohne Drallplatte wurde untersucht. Bei dieser Pyrolyse werden gasförmige Reaktionprodukte wie Wasserstoff und Kohlenwasserstoffe frei, die massenspektroskopisch im Abgas nachgewiesen werden können. Bei niedrigen Pyrolysetemperaturen weisen die Si-C-N-Pulver noch funktionelle Gruppen auf, die bei ansteigender Pyrolysetemperatur zunehmend verschwinden. Die Einstellbarkeit des Kohlenstoff/Stickstoff-verhältnisses ist durch veränderte NH3/HMDS-Verhältnisse möglich. Der Kohlenstoffgehalt setzt sich aus im Netzwerk gebundenen und aus freiem Kohlenstoff, z. B.auch in Form von hochkondensierten Aromaten zusammen. Die Größenverteilung der aus den Primärpartikeln fest verwachsenen Aggregate ist bei der Pyrolyse mit Drallplatte enger als die in der laminar durchgeführten Pyrolyse. So wurden bei der Pyrolyse mit Drallplatte mittels Suspensionsmessungen ausschließlich Pulver <5um gemessen, während bei der Pyrolyse ohnen Drallplatte die Grobanteile bis zu 40um betrugen. Damit wurde die prinzipiell bessere Eignung der Pyrolyse mit Drallplatte für die Herstellung von Si-C-N-Pulvern nachgewiesen.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-8059.html