Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Electrical and topographical characterization of aluminum implanted layers in 4H silicon carbide

 
: Rambach, M.; Bauer, A.J.; Ryssel, H.

:

Physica status solidi. B 245 (2008), No.7, pp.1315-1326
ISSN: 0031-8957
ISSN: 0370-1972
English
Journal Article
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-77697.html