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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. Trends bei der Entwicklung von Normalen für die Mikro- und Nanomesstechnik - Herausforderungen und Lösungsansätze
Trends in development of standards for micro- and nanometrology - Chances and challenges
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Weckenmann, A.; Wiedenhöfer, T.; Büttgenbach, S.; Krah, T.; Fleischer, J.; Buchholz, I.; Viering, B.; Kranzmann, A.; Ritter, M.; Krüger-Sehm, R.; Bakucz, P.; Schmitt, R.; Koerfer, F.AbstractIm Bereich der Entwicklung von Normalen für die Mikrometer- und Nanometer(mess)technik ist immer noch viel Forschungsarbeit zu leisten. Makroskopische Ansätze lassen sich nur bedingt 'herunterskalieren' und der Aspekt virtueller, parallelisierter oder 'echter' 3D-Messtechnik und deren Einsatz, Anwendung und Realisierung muss weiter untersucht werden. Durch die rasante Entwicklung neuer Produkte - und der zugehörigen Messtechnik im Mikro- und Nano-Bereich - müssen die beschriebenen Ansätze weiter untersucht und ausgebaut werden, sodass diese dann in praxistaugliche Vorgehensweisen, Normale und Mess- und Auswertestrategien überführt und umgesetzt werden können.
Entnommen aus
TEMA
Micro- and nano-metrology permanently need new standards. New approaches in design, production and application have to be developed, in order to fulfil the requirements and boundary conditions of micro- and nano-technology. In the following selected examples for these developments are presented.