Options
2008
Journal Article
Titel
Trends bei der Entwicklung von Normalen für die Mikro- und Nanomesstechnik - Herausforderungen und Lösungsansätze
Alternative
Trends in development of standards for micro- and nanometrology - Chances and challenges
Abstract
Im Bereich der Entwicklung von Normalen für die Mikrometer- und Nanometer(mess)technik ist immer noch viel Forschungsarbeit zu leisten. Makroskopische Ansätze lassen sich nur bedingt 'herunterskalieren' und der Aspekt virtueller, parallelisierter oder 'echter' 3D-Messtechnik und deren Einsatz, Anwendung und Realisierung muss weiter untersucht werden. Durch die rasante Entwicklung neuer Produkte - und der zugehörigen Messtechnik im Mikro- und Nano-Bereich - müssen die beschriebenen Ansätze weiter untersucht und ausgebaut werden, sodass diese dann in praxistaugliche Vorgehensweisen, Normale und Mess- und Auswertestrategien überführt und umgesetzt werden können. Entnommen aus <a_href="http://www.fiz-technik.de/db/b_tema.htm" target="_blank">TEMA</a>
;
Micro- and nano-metrology permanently need new standards. New approaches in design, production and application have to be developed, in order to fulfil the requirements and boundary conditions of micro- and nano-technology. In the following selected examples for these developments are presented.
Author(s)