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Konferenzschrift
Bulksiliziummikromechanik, Entwicklungstendenzen und Beispiele
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2007
Conference Paper
Titel
Bulksiliziummikromechanik, Entwicklungstendenzen und Beispiele
Author(s)
Wiemer, M.
Frömel, J.
Hiller, K.
Reuter, D.
Jia, C.
Hauptwerk
Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik
Konferenz
Workshop "Technologien und Werkstoffe der Mikro- und Nanosystemtechnik" 2007
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM