Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Wavelet filtering of fractal surfaces

 
: Bakucz, P.; Schröder, S.; Krüger-Sehm, R.; Duparre, A.; Tünnermann, A.

:

Technisches Messen : TM 75 (2008), No.5, pp.339-345
ISSN: 0340-837X
ISSN: 0171-8096 (Print)
ISSN: 2196-7113 (Online)
German
Journal Article
Fraunhofer IOF ()
Rauheit; PSD; Streulicht; Fraktale; Wavelet-Filterung

Abstract
Streulichtbasierte Messverfahren eignen sich prinzipiell sehr gut zur anwendungsnahen Charakterisierung von Oberflächen-Nano strukturen. Kenngrößen wie die rms-Rauheit oder das Rauheitsspektrum lassen sich direkt bestimmen. Speziell bei der Anwendung auf Mikroflächen führt jedoch die Betrachtung sehr kleiner Oberflächenbereiche zu statistischen Fluktuationen der Streuverteilung und damit des Rauheitsspektrums. Durch geeignete Filterverfahren kann trotzdem das globale Rauheitsspektrum geschätzt werden, das das gesamte Ensemble gleichartiger Oberflächen repräsentiert.

 

Wavelet Filtering of Fractal Surfaces
Light scattering measurement techniques have proved suitable tools for the practical characterization of surface nanostructures. Characteristics such as rms roughness and roughness power spectrum can be direct1y determined. However, for applications like micro-surfaces, the investigation of very small surface areas results in statistical fluctuations of the scattering distribution and hence of the roughness spectra. If appropriate filtering is applied, the global roughness spectrum, which represents the entire ensemble of similar surfaces, can nevertheless be estimated.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-74157.html