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2007
Conference Paper
Titel
Mit weicher Röntgenstrahlung hochgenau messen
Titel Supplements
Weiche Röntgenstrahlung fur Anwendungen innerhalb der Materialwissenschaften und der Oberflächenmesstechnik
Abstract
Bildgebende Verfahren zur Messung und Prüfung unterschiedlicher Objektmerkmale sind durch eine hohe Flexibilität gekennzeichnet. Neben herkömmlichen Prüfverfahren, die auf sichtbarem Licht oder Röntgenstrahlung basieren, existieren im elektromagnetischen Spektrum Bereiche, die bisher noch nicht intensiv genutzt werden. Die Entwicklung hin zu immer komplexeren Produkten, die sowohl höhere Ansprüche an die Toleranzbreiten stellen als auch aus immer unterschiedlicheren Materialkombinationen bestehen, treibt auch die Entwicklung neuartiger Prüfverfahren an. Vor diesem Hintergrund ist die Übertragung bisheriger Verfahren auf bisher wenig genutzte Bereiche des elektromagnetischen Spektrums durch die spektral begründeten unterschiedlichen physikalischen Wechselwirkungen mit Materie eine konsequente und vielversprechende Weiterentwicklung. Diese Bereiche im elektromagnetischen Spektrum befinden sich jeweils in den längeren und kürzeren Wellenlägenbereichen neben dem des sichtbaren Lichts. Während der vom sichtbaren Licht aus langwellige Bereich mit Namen Ferninfrarot (auch THZ-Strahlung) neue Möglichkeiten für die Mess- und Prüftechnik sowie für die Sicherheitstechnik erschließen kann, ist der kurzwellige Bereich der Extremen Ultravioletten Strahlung bzw. der weichen Röntgenstrahlung ein möglicher Kandidat für die Fertigungstechnologie der nächsten Chipgeneration mit Strukturbreiten unterhalb von 30 nm. Anhand von Beispielmessungen des am Fraunhofer-Institut für Lasertechnik (ILT) in Aachen aufgebauten EUV-Mikroskops wird aufgezeigt, inwiefern Extreme Ultraviolette Strahlung auch in der Messtechnik im Bereich der Materialwissenschaften und der Oberflächeninspektion eingesetzt werden könnte.