Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Großflächige Mikro- und Nanostrukturen durch Interferenzlithographie erzeugen

 
: Bläsi, B.; Gronbach, A.; Mick, J.

:
Fulltext (PDF; )

INNO 12 (2007), No.38, pp.10
German
Journal Article, Electronic Publication
Fraunhofer ISE ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-73440.html