Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. P implantation into preamorphized germanium and subsequent annealing: Solid phase epitaxial regrowth, P diffusion, and activation
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Posselt, M.; Schmidt, B.; Anwand, W.; Grötzschel, R.; Heera, V.; Mücklich, A.; Wündisch, C.; Skorupa, W.; Hortenbach, H.; Gennaro, S.; Bersani, M.; Giubertoni, D.; Möller, A.; Bracht, H. | Journal of vacuum science and technology B. Microelectronics and nanometer structures 26 (2008), No.1, pp.430-434
ISSN: 0734-211X
ISSN: 1071-1023
ISSN: 2166-2746
ISSN: 2166-2754 |
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