Mikromechanische Gehäusung mit mindestens zwei Kavitäten mit unterschiedlichem Innendruck und/oder unterschiedlicher Gaszusammensetzung sowie Verfahren zu deren Herstellung

(A1) Die vorliegende Erfindung betrifft ein Vielfach-Bauelement, vorgesehen zum späteren Vereinzeln unter Ausbildung aktive Strukturen enthaltender Bauteile, sowie ein entsprechendes, in der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil, wobei das Vielfach-Bauelement bzw. das Bauteil ein flächiges Substrat und eine ebenfalls flächig ausgebildete Kappenstruktur aufweist, die so miteinander verbunden sind, dass sie mindestens einen ersten und einen zweiten Hohlraum pro genanntem Bauteil umschliessen, die gegeneinander und gegen die Außenumgebung abgedichtet sind, dadurch gekennzeichnet, dass der erste der beiden Hohlräume mit einem Gettermaterial versehen ist und aufgrund dieses Gettermaterials einen anderen Innendruck und/oder eine andere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Herstellen solcher Bauelemente bzw. Bauteile, für welches Gasmischungen aus verschiedenen Gasarten eingesetzt werden, die ein unterschiedliches Absorptionsverhalten gegenüber dem Gettermaterial aufweisen.

WO 2007113325 A1 UPAB: 20071121 NOVELTY - The multiple-component has a flat substrate and a flat cap structure connected with each other in such a manner that the flat substrate and the flat cap structure surround two cavities (5, 6) for respective component parts e.g. chips, where the cavities are sealed against each other and towards an outer environment. The cavity (5) is provided with getter material (8), where the cavity (5) exhibits a different internal pressure and/or a different gas composition from the cavity (6) due to the getter material. DETAILED DESCRIPTION - INDEPENDENT CLAIMS are also included for the following: (1) a flat substrate and a flat cap structure for utilization in a multiple-component (2) a component part with a flat substrate and a flat cap structure (3) a method for manufacturing a multiple-component. USE - Used in a microsystem technology (claimed). ADVANTAGE - The cavity is provided with getter material, where the cavity with getter material exhibits different internal pressure and/or different gas composition than the other due to the getter material, thus enabling the cavities of the component parts to exhibit different internal pressure and/or different gas composition in an effective manner.