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Mikrogreifer

Micro gripper manufacturing method for e.g. accommodating samples, involves manufacturing base body and gripping body by material separating procedure under formation of material layers that are connected with one another
 
: Große, C.; Altmann, F.; Simon, M.; Hoffmeister, H.; Riemer, D.

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Frontpage ()

DE 102006023768 A: 20060520
DE 102006023768 A: 20060520
B25J0007
B81C0001
B81B0001
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IWM ()

Abstract
(A1) Beschrieben wird ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrogreifers, der einen Basiskörper sowie einen mit dem Basiskörper einstückig verbundenen Greifkörper umfasst, der den Basiskörper überragt und an einem freien Endbereich einen Aufnahmeschlitz derart vorsieht, dass zum Greifen und Halten ein Mikrometer- oder Submikrometer-skaliges Objekt in den Aufnahmeschlitz klemmbar ist, sowie ein gattungsgemäßer Mikrogreifer. Die Erfindung zeichnet sich dadurch aus, dass der Basiskörper und der Greifkörper mittels eines Materialabscheideverfahrens unter Ausbildung wenigstens einer gemeinsamen ersten und einer gemeinsamen zweiten Materialschicht hergestellt werden und dass die Materialschichten im Wesentlichen eben ausgebildet und miteinander verbunden werden.

 

DE 102006023768 A1 UPAB: 20080111 NOVELTY - The method involves providing an even substrate surface, and applying a sacrificial layer on the substrate surface, where a material layer (3) is applied on the sacrificial layer. Another sacrificial layer is applied in a local area of the material layer. Another material layer (4) and the latter sacrificial layer are applied on the former material layer, and the sacrificial layers are removed. A base body and a gripping body are manufactured by a material separating procedure under formation of the material layers that are connected with one another. DETAILED DESCRIPTION - An INDEPENDENT CLAIM is also included for a micro gripper with a base body. USE - Used for manufacturing a micro gripper for accommodating, transporting and holding material samples in the context of investigation in a transmission electronic microscope (claimed) or scanning electronic microscope, where the gripper is used in the micro and nano-technology for manipulation and assembly or joining of small objects and in physics, biology, chemistry and medical applications. ADVANTAGE - The method allows simultaneous manufacturing of a set of micro grippers on surface substrates, so that the manufacturing cost is reduced. The method allows to easily change the design of the micro gripper with high manufacturing accuracy.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-70626.html