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Vorrichtung zum Elektronenstrahlverdampfen

Device for the electron beam vaporization comprises a screen arranged between a material to be vaporized and a substrate to be coated and having a magnetic system for deviating the electron beam through an aperture onto the material
 
: Mattausch, G.; Flaske, H.; Liebig, J.-S.; Kirchhoff, V.; Heinß, J.-P.; Klose, L.

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DE 102006031244 A: 20060706
DE 102006031244 A: 20060706
C23C0014
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer FEP ()

Abstract
(A1) Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Elektronenstrahlverdampfen, umfassend eine Vakuumarbeitskammer (2), einen Axialstrahler (6) zum Erzeugen eines Elektronenstrahls (7), mittels dem ein zu verdampfendes Material (5) erhitzbar ist, und eine zwischen dem Material (5) und einem zu beschichtenden Substrat (3) angeordnete Blende (9), welche mindestens eine Dampfapertur (10) aufweist, durch die Materialdampf zum Substrat (3) gelangt, wobei die Blende (9) ein Magnetsystem (14) umfasst, mittels dem der Elektronenstrahl (7) durch die Dampfapertur (10) auf das zu verdampfende Material (5) ablenkbar ist.

 

DE 102006031244 A1 UPAB: 20080226 NOVELTY - Device for the electron beam vaporization comprises a screen (9) arranged between a material (5) to be vaporized and a substrate (3) to be coated and having a magnetic system (4) for deviating the electron beam (7) through an aperture (10) onto the material to be vaporized. USE - Device for the electron beam vaporization in the production of corrosion protection layers, as decorative layers and for screening and heat insulation purposes. ADVANTAGE - The device is compact and ensures uniform layer deposition.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-70594.html