Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Surface/microstructure inspection

 
: Duparre, A.

Braunecker, B.; Hentschel, R. ; Society of Photo-Optical Instrumentation Engineers -SPIE-, Bellingham/Wash.:
Advanced optics using aspherical elements
Bellingham, WA: SPIE, 2008 (SPIE PM 173)
ISBN: 978-0-8194-6749-2
Chapter 6 Metrology, Kapitel 14.4
English
Book Article
Fraunhofer IOF ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-70487.html