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Konzeptionelle Untersuchungen eines elektrothermisch auslenkbaren mikromechanischen Membranspiegels zur aktiven Fokusvariation

 
: Conrad, H.
: Wächter, F.; Sandner, T.

Dresden, 2007, XII, 121 pp.
Dresden, Hochschule für Technik und Wirtschaft, Master Thesis, 2007
German
Master Thesis
Fraunhofer IPMS ()
MEMS; MOEMS; mikromechanischer Spiegel; elektrothermisch verformbarer Mikrospiegel; Adaptive Optik; aktive Fokusvariation

Abstract
In dieser Arbeit wird ein Konzept eines elektrothermisch auslenkbaren mikromechanischen Membranspiegels zur aktiven Fokusvariation erarbeitet.
Die Variation der Fokuslänge des auf das Bauelement einfallenden Lichtes, soll hier mit einer thermisch verkrümmbaren und mit Aluminium beschichteten Spiegelplatte erfolgen.
Neben der Evaluation des Standes der Technik, der physikalischen und methodischen Berechnungsgrundlagen wurden konzeptionelle Überlegungen und Optimierungen durchgeführt. Anhand eines ausgewählten Bauelementekonzeptes ist das statische und transiente Verhalten des Bauelementes, aber auch dessen Grenzen mithilfe gekoppelter elektrothermischen und thermomechanischen FE-Beechnungen gezeigt worden.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-69252.html