Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Technologieentwicklung für 1-Mega-Pixel Mikrospiegel-Arrays mit hohem optischem Füllfaktor und langzeitstabilem Auslenkverhalten

 
: Schmidt, J.-U.; Friedrichs, M.; Rudloff, D.; Lakner, H.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-; VDI/VDE Innovation+Technik, Berlin:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2007 : 15.-17. Oktober, Dresden, Proceedings
Berlin: VDE-Verlag, 2007
ISBN: 3-8007-3061-8
ISBN: 978-3-8007-3061-2
pp.115-118
MikroSystemTechnik Kongress <2007, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-69174.html