Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Einsatz translatorischer MOEMS-Aktoren für FTIR-Spektrometer

 
: Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.; Kenda, A.; Scherf, W.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-; VDI/VDE Innovation+Technik, Berlin:
MikroSystemTechnik KONGRESS 2007 : 15.-17. Oktober, Dresden, Proceedings
Berlin: VDE-Verlag, 2007
ISBN: 3-8007-3061-8
ISBN: 978-3-8007-3061-2
pp.485-488
MikroSystemTechnik Kongress <2007, Dresden>
German
Conference Paper
Fraunhofer IPMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-69160.html