Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Direct optimization approach for lithographic process conditions

 
: Fühner, T.; Erdmann, A.; Seifert, S.

:

Journal of Microlithography, Microfabrication, and Microsystems 6 (2007), No.3, Art. 031006, 20 pp.
ISSN: 1537-1646
English
Journal Article
Fraunhofer IIS ()
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-67777.html