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Konferenzschrift
Smart Systems Integration - Eine Herausforderung für zukünftige Mikro- und Nanotechnologien
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2006
Conference Paper
Titel
Smart Systems Integration - Eine Herausforderung für zukünftige Mikro- und Nanotechnologien
Author(s)
Gessner, T.
Baum, M.
Hiller, K.
Mehner, J.
Wiemer, M.
Otto, T.
Saupe, R.
Nestler, J.
Hauptwerk
VDE-Kongress 2006 Aachen. Innovations for Europe. Bd. 1: Fachtagungsberichte der ITG-ITG/BMBF-GMM
Konferenz
VDE-Kongress Innovations for Europe 2006
Language
German
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Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM