Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Light scattering techniques for the inspection of microcomponents and microstructures

 
: Duparre, A.

Osten, W:
Optical inspection of microsystems
Boca Raton: Taylor & Francis, 2007 (Optical science and engineering 109)
ISBN: 0-8493-3682-1
pp.103-119
English
Book Article
Fraunhofer IOF ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-65441.html