Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Experimental and theoretical results of dopant activation by a combination of spike and flash annealing

Experimentelle und theoretische Ergebnisse zur Aktivierung von Dotieratomen durch eine Kombination von Spike- und Flash-Ausheilung
 
: Lerch, W.; Paul, S.; Niess, J.; Chan, J.; McCoy, S.; Gelpey, J.; Cristiano, F.; Severac, F.; Fazzini, P.F.; Bolze, D.; Pichler, P.; Martinez, A.; Mineji, A.; Shishiguchi, S.

:

Semiconductor Equipment and Materials International -SEMI- Japan; IEEE Electron Devices Society:
IWJT 2007, 7th International Workshop on Junction Technology : June 8-9, 2007, Kyoto, Japan
Piscataway: IEEE, 2007
ISBN: 1-4244-1103-3
pp.129-134
International Workshop on Junction Technology <7, 2007, Kyoto>
English
Conference Paper
Fraunhofer IISB ()
dopant; activation; spike annealing; flash annealing; silicon

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-64742.html