Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Polarity asymmetry of stress and charge trapping behavior of thin Hf- and Zr-silicate layers

 
: Paskaleva, A.; Lemberger, M.; Bauer, A.J.

:

Microelectronics reliability 47 (2007), No.12, pp.2094-2099
ISSN: 0026-2714
English
Journal Article
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-64741.html