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Pruefstand zur Erfassung von Partikelemission

Test stand for detecting particle emission from rubbed material pairing, has measuring probe for receiving air from laminar air flow adjacent to material pairing, and particle counter for detecting particles in air received by probe
 
: Gommel, Udo; Smolinski, Dirk; Zorn, Christof

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DE 102005063101 A: 20051230
DE 2005-102005063101 A: 20051230
DE 102005063101 A1: 20070712
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IPA ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung betrifft einen Pruefstand zur Erfassung von Partikelemissionen aus reibenden Werkstoffpaarungen, mit einer Vorrichtung zum Halten der Werkstoffpaarung aus Grundkoerper und Gegenkoerper und zur Erzeugung von Reibung in der Werkstoffpaarung, einer Vorrichtung zur Erhaltung einer weitgehend laminaren Luftstroemung ueber die Werkstoffpaarung, einer Messsonde zur Aufnahme von Luft aus der laminaren Luftstroemung luftstromabwaerts und benachbart zu der Werkstoffpaarung, sowie$A eine Vorrichtung zur Erfassung der in der von der Sonde aufgenommenen Luft enthaltenen Partikel.

 

DE 102005063101 A1 UPAB: 20070817 NOVELTY - The stand (10) has a holder (14) for holding a material pairing and for generation of friction in the material pairing. The holder is arranged on a rack frame, where an upper side of the frame is formed by a perforated sheet. A measuring probe (36) is provided for receiving air from the laminar air flow adjacent to the material pairing. A particle counter (12) is provided for detecting particles in the air received by the probe, where the holder is connected with a force transmission unit (13). USE - Used for detecting particle emission from rubbed material pairing in a clean room in a semiconductor industry, manufacturing of optical instruments and in micrometer and/or nanometer area. ADVANTAGE - The particle counter is provided for detecting particles in the air received by the probe, thus providing the possibility to check the generation of airborne particles in real time.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-63962.html