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1999
Conference Paper
Titel
Modellierung und Simulation zur Prozeß- und Produktentwicklung in der Schichttechnik
Alternative
Modeling and Simulation for process optimization and product development in coating techniques
Abstract
Aspekte der Simulation und Modellierung als Hilfsmittel zur optimierten Prozeßführung. Die Methodik wird dargestellt am Beispiel von Schichten für die Aufbau- und Verbindungstechnik für die Elektronik.