Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Entwicklung und Charakterisierung eines CMOS-Prozesses mit minimierter Anzahl an Lithographieebenen

Development and characterization of a CMOS technology with minimized mask count
 
: Jank, M.

Aachen: Shaker, 2007, VI, 164 pp.
Zugl.: Erlangen-Nürnberg, Univ., Diss., 2006
Erlanger Berichte Mikroelektronik, 2007,1
ISBN: 3-8322-6159-1
ISBN: 978-3-8322-6159-7
German
Dissertation
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-63783.html