Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Untersuchungen zum reaktiven Pulsmagnetronsputtern von ITO von metallischen Targets

 
: Gnehr, W.-M.

Ilmenau, 2006, II, 125 pp.
Ilmenau, TU, Diss., 2006
URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2006000040
German
Dissertation
Fraunhofer FEP ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-63713.html