Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Electrostatic chuck for EUV masks

 
: Kalkowski, G.; Risse, S.; Müller, S.; Harnisch, G.

:

Microelectronic engineering 83 (2006), No.4-9, pp.714-717
ISSN: 0167-9317
English
Journal Article
Fraunhofer IOF ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-63711.html