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Verfahren zur Ausbildung einer mit ta-C gebildeten Schicht oder einer mit mindestens einer mit ta-C gebildeten Schicht gebildeten Beschichtung sowie damit ausgebildet ta-C-Schicht oder Beschichtung

 
: Zawischa, Martin; Lorenz, Lars; Hofmann, Falko; Weihnacht, Volker; Makowski, Stefan; Kaulfuß, Frank

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Frontpage ()

DE 102019213573 A1: 20190906
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer IWS ()

Abstract
Eine erfindungsgemäße ta-C-Schicht oder Beschichtung mit mindestens einer ta-C-Schicht ist mit einem Kohlenstoffanteil von mindestens 95%, einer mittleren Härte von mindestens 25 GPa und einem mittleren E-Modul von mindestens 250 GPa mit anisotropen mechanischen Eigenschaften ausgebildet. Der mittlere E-Modul innerhalb der Schichtebene ist kleiner als 80 % des E-Modulwertes in Richtung der Schichtnormalen. Sie wird im Vakuum mit periodisch gezündeten elektrischen Lichtbögen und einer Kathode aus Graphit unter Einhaltung bestimmter Parameter und dabei insbesondere einer Temperatur im Bereich von 100 °C bis 140 °C ausgebildet.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-635857.html