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Vorrichtung und Verfahren zum Aufbringen flüssiger Medien auf eine Substratoberfläche

Device and method for applying liquid media to a substrate surface
 
: Jahn, Mike; Keding, Roman

:
Frontpage ()

DE 102019206706 A1: 20190509
German
Patent, Electronic Publication
Fraunhofer ISE ()

Abstract
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Aufbringen flüssiger Medien (6) auf eine Substratoberfläche (21), enthaltend zumindest eine Fluidführungseinrichtung (3) und zumindest eine Fluid-fördereinrichtung (4) und zumindest eine Vorschub-einrichtung (25) zur Erzeugung einer Relativbewegung zumindest zwischen der Substratoberfläche (21) und einem Teil der Fluidführungseinrichtung (3), wobei die Vorrichtung weiterhin zumindest eine Antriebsein-richtung (1) zur Veränderung des Abstandes zwischen der Substratoberfläche (21) und einem Teil eines zweiten Längsabschnittes (32) der Fluidführungseinrichtung (3) enthält. Weiterhin betrifft die Erfindung die Verwendung einer solchen Vorrichtung und ein Verfahren zum Aufbringen flüssiger Medien (6) auf eine Substratoberfläche (21).

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-635764.html