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Title
Verfahren zum Abscheiden einer Aluminiumoxid-Schicht sowie ein Kunststoff- oder Glassubstrat mit einer darauf abgeschiedenen Aluminiumoxid-Schicht
Date Issued
2020
Author(s)
Patent No
102018132842
Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Abscheiden einer Aluminiumoxid-Schicht auf einem Kunststoff- oder Glassubstrat (11; 21), wobei mindestens ein Aluminiumtarget innerhalb einer Vakuumkammer (10; 20) mittels mindestens eines Magnetrons (12; 22) zerstäubt und während des Zerstäubens des Aluminiumtargets Sauerstoff in die Vakuumkammer (10; 20) eingelassen wird, wobei die Aluminiumoxid-Schicht mit einer Dicke von mindestens 30 nm auf dem Kunststoff- oder Glassubstrat (11; 21) abgeschieden und die Aluminiumoxid-Schicht nach dem Abscheiden mit der Strahlung mindestens eines Blitzpulses mindestens einer Gasentladungslampe (15; 25) beaufschlagt wird.
Language
de
Patenprio
DE 102018132842 A1: 20181219