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Title
Verfahren zur Bildung einer Schicht oder einzelner Cluster eines Materials in und/oder auf einem Substrat
Date Issued
2020
Patent No
102018218008
Abstract
Bei einem Verfahren zur Bildung einer Schicht oder einzelner Cluster eines Materials durch chemische Reaktion von wenigstens zwei Reaktanten an und/oder unter einer Oberfläche eines Substrats, das für einen der Reaktanten permeabel ist, werden die wenigstens zwei Reaktanten von gegenüberliegenden Seiten der Substratoberfläche zugeführt. Dies ermöglicht die Beschichtung von permeablen Materialien wie z.B. Polymerfolien, in besonders einfacher Weise und mit minimalem Einsatz von Energie, insbesondere zur Erzeugung von Barrierebeschichtungen, in industriellem Maßstab.
Language
de
Patenprio
DE 102018218008 A1: 20181022